欢迎访问海能未来技术集团股份有限公司网站 热线电话:0531-88874444
大家都在搜: 定氮仪、凯氏定氮仪、微波消解仪、液相测谱仪、气相离子迁移谱仪、电位滴定仪、旋光仪、折光仪
技术文章 / Technical article 您的位置:网站首页 > 技术文章 > 微波助力半导体研究

微波助力半导体研究

点击次数:626 发布时间:2023-08-18

当下,半导体产业备受关注,在新能源汽车、光伏、储能等需求带动下,第三代半导体产业高速发展。

 

半导体材料处于半导体产业链的上游环节,是半导体产业的基石。其产业规模大、细分行业多。

 

其中,半导体膜是由半导体材料形成的薄膜。根据制备半导体薄膜的技术不同,在结构上可分为单晶、多晶和无定形薄膜。

 

探索最适合的消解参数,有利于后续对多种无机元素的快速准确测定。

 

实验方案

 

 

仪器

 

 

新仪 MASTER-18 微波消解仪、赶酸器、分析天平(十万分之一)等

图片

试剂

 

硝酸(68%),氢氟酸(40%)

 

实验方法

 

精确称取半导体薄膜材料50 mg(精确至0.1 mg),缓慢滴加8 mL 硝酸(剧烈反应,释放气体),静置10 min 左右,待无明显反应后,补加2 mL 氢氟酸,组装消解罐,按照如下设置参数进行实验:

 

阶段

温度/℃

时间/min

功率/W

1

150

10

400

2

180

5

400

3

210

45

400

 

实验结束后,待冷却至60℃以下,取出消解罐转移至通风橱中缓慢打开,赶酸稀释后,样品可完全消解至澄清透明状态。

 

结果

 

实验选取的半导体薄膜材料样品,取样为50 mg,加入硝酸静置后,补加氢氟酸,最高实验温度210 ℃,保温40 min 左右,样品可完全消解。

 

注意

 

1、添加氢氟酸进行实验后,需进行赶酸处理,防止氢氟酸对玻璃器皿造成腐蚀,也可能会对实验结果造成影响。

 

2、添加硝酸后样品反应剧烈,实验过程中应缓慢加入或者分多次加入硝酸,同时实验人员需做好防护。

 

 

信息化社会、人工智能、万物互联、现代农业、现代医疗、智能交通、国防安全……半导体材料市场需求爆发,加之国产化替代机遇、超大规模市场优势……期待中国半导体产业腾飞!

 

联系方式 二维码

服务热线

400-618-6188

扫一扫,关注我们